コンベア炉
| 用途 | シリコンウエハ電極印刷（仮乾燥） |
|---|---|
| 送風方式 | 熱風循環式 |
| 温度範囲 | 常用 150℃ (MAX200°C) |
| 装置寸法 | L4,460 × W1,720 × H2,700mm |
| ヒーター容量 | 72KW （3ゾーン構成） |
| 搬送方法 | ウィケット治具方式 |
| 電源 | AC200V 3P 50/60Hz 90kVA |
| 用途 | シリコンウエハ電極印刷（本乾燥） |
|---|---|
| 送風方式 | 熱風循環式 |
| 温度範囲 | 常用 200℃ (MAX230°C) |
| 装置寸法 | L1,100 × W3,170 × 2,940mm |
| ヒーター容量 | 260KW （8ゾーン構成） |
| 搬送方式 | ウィケット治具方式 |
| 電源 | AC200V 3P 50/60Hz 300kVA |
| 用途 | シリコンウエハ電極印刷（多結晶タイプ） |
|---|---|
| 送風方式 | ハロゲン加熱方式 |
| 温度範囲 | 常用 300℃ (MAX350°C) |
| 装置寸法 | L4,000 × W1,550 × H2,000mm |
| ヒーター容量 | 18KW |
| 搬送方式 | V型ステンレス治具 |
| 電源 | AC200V 3P 50/60Hz 25kVA |
コンベア用ベルト
ベルト一覧（棚板タイプ）
| 用途 | 基盤のアニール処理・部品の乾燥、多目的乾燥・部品の熱処理、部品の脱脂・印刷後の乾燥 その他 |
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