特殊搬送炉
ウォーキングビーム方式
| 用途 | セラミック基盤、電極印刷、他熱処理 |
|---|---|
| 送風方式 | 熱風送風式 |
| 温度範囲 | 常用120°C(MAX150°C) |
| 装置寸法 | L3,380 × W1,035 × H1,890mm |
| ヒーター容量 | 16kW |
| 送りピッチ | 可変可能 |
| 電源 | AC200V 3P. 50/60Hz 22kVA |
| 用途 | シリコンウエハ焼成工程 |
|---|---|
| 加熱方式 | ハロゲン加熱式 |
| 温度範囲 | 常用500°C(MAX600°C) |
| 装置寸法 | L3,220 × W1,220 × H1,850mm |
| ヒーター容量 | 30kW |
| 電源 | AC200V 3P. 50/60Hz 40kVA |
カテーテル乾燥炉 / 塗布機
縦型
| 用途 | カテーテルガイドワイヤー |
|---|---|
| 送風方式 | 熱風循環式 |
| 温度範囲 | 常用100°C～120℃ (MAX200°C) |
| 炉内寸法 | L800 × D1,000 × H2,800mm |
| ヒーター容量 | 15kW |
| 備考 | 強制排気ファン付 |
| 電源 | AC200V 3P. 50/60Hz 22kVA |
| 用途 | カテーテルガイドワイヤー用塗布機 |
|---|---|
| 塗布方式 | 自動昇降式 |
| 塗布範囲 | コーティング範囲 MAX 2,600mm～5,000mm |
| 装置寸法 | W1,000 × D500 × H3,100mm |
| 塗布本数 | 20本 / サイクル |
| 電源 | AC200V 3P. 50/60Hz 10kVA |
クリーンオーブン
| 用途 | セラミック基板、ガラス基板 |
|---|---|
| 送風方式 | 遠赤外線＋熱風循環式 |
| 温度範囲 | 常用150°C～200°C(MAX250°C) |
| 装置寸法 | L6,000 × W1,750 × H1,720mm |
| ヒーター容量 | 36kW |
| クリーン度 | クラス100 （HEPAフィルター内蔵） |
| 電源 | AC200V 3P. 50/60Hz 45kVA |
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